光束要動得快，鏡子就得比雷射更穩

雷射加工、光束對準、掃描成像這類應用有一個共同點：真正在高速運動的往往不是工件，而是光。要讓一道光束以次毫秒的節奏改變方向、又要求微弧度等級的指向精度，傳統馬達機構無能為力——這正是壓電式快速傾斜鏡（Fast Steering Mirror / Tip-Tilt Platform）的主場。

piezosystem jena 的 PSH 系列就是為此而生。這篇把全系列攤開來，依「傾斜範圍、速度、軸數」三個座標幫你快速對號入座。若你還不熟壓電定位的基本觀念，建議先讀壓電平台是什麼與規格表的六個陷阱。

PSH 系列的共同基因

  • 亞微弧度解析度：解析度以 µrad 計，最細達 0.002 µrad 等級，滿足干涉儀、光束穩定回路的指向要求。
  • 高共振頻率＝次毫秒響應：系列共振頻率從 2 kHz 到 6.5 kHz，適合動態掃描與即時補償。
  • 撓性鉸鏈、無摩擦無間隙：經有限元分析設計的 flexure 結構，沒有機械背隙，重複性由結構保證。
  • 溫度補償設計：環境溫度變化不影響傾斜角度，適合產線與實驗室環境。
  • 閉迴路版本可選：整合應變計感測器，提供高線性度與可重複的定位控制；另有真空、低溫、非磁性客製版本。

依應用對號入座

① 微型高速掃描：PSH 4/1

系列中最小的成員（∅12 × 20 mm、20 g），單軸 ±傾斜、無負載共振頻率大於 6.5 kHz，為 kHz 級光束掃描而生。光束導向、光束追蹤、振動補償這類「小鏡子、拚速度」的場合首選。詳見 PSH 4/1 產品頁。

② 三軸傾斜＋活塞運動：PSH 1-4z

由多組主動壓電致動器組成，可讓頂板在最多三軸傾斜（1～4 mrad 依型號），全致動器同步時另有高達 8 µm 的活塞（piston）行程——需要「傾斜之外還能微調光程」的干涉與波前控制應用特別合用。25 × 25 mm 底面積，支援 1 吋與 1.5 吋鏡座。

③ 大傾角雙軸定位：PSH 25

開迴路 ±20 mrad、閉迴路 ±16 mrad 的雙軸平台，60 × 60 mm 機身，光學元件易於更換。掃描視野要大、又要保留亞微弧度解析度（開迴路 0.2 µrad）時的選擇。

④ 嚴苛環境與太空等級：PSH 20/2 / PSH 35/2

同一外殼兩種調性：PSH 20/2 針對快速傾斜優化（低電容、低能耗），PSH 35/2 行程更長、溫度範圍更寬（閉迴路可達 ±18 mrad）。此系列為歐洲太空總署 SQATTS 專案開發、通過太空認證——對可靠度有硬要求的系統可以直接對標。

選型三問

  1. 傾斜範圍要多大？先用光路幾何換算鏡面需要的 mrad 數（記得光束偏轉角是鏡面傾角的兩倍），再比對開迴路／閉迴路範圍。
  2. 動得多快？掃描頻率靠近共振頻率時會失真，工作頻率建議保留足夠餘裕；負載（鏡子重量）會拉低共振頻率，選型時要一併告知鏡面尺寸與材質。
  3. 要不要閉迴路？開迴路適合重複軌跡掃描；要求絕對角度、長時間漂移補償或多台一致性時，選整合感測器的閉迴路版本。

把應用場景（波長、鏡面尺寸、掃描頻率、環境條件）寄給我們，我們將給出型號建議與交期：線上詢價｜完整系列請見 piezosystem jena 產品總覽。