nanoX 系列/高速壓電平台
產品型號
nanoX 200
產品描述
- 240 µm 行程範圍
- 高動態性能
- 優異的導引準確度
- 0.4 nm 解析度
- ⌀ 3 mm 中央通孔
- 可提供真空和低溫版本
- 可提供因瓦合金、超因瓦合金、鋁或鈦材質版本
型號
數量
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產品說明
nanoX 200 是超快速、高負載的壓電定位平台。它提供高達 240 微米的定位和掃描範圍。中央自由通孔允許雷射光學應用穿過平台。通過 FEA 優化，nanoX 200 提供最高的動態性能和出色的導引精度。即使在高質量負載的情況下，這也能在非常緊湊的封裝中實現。nanoX 系列專為半導體、雷射與光學以及測試與測量領域的奈米定位任務而設計。可提供真空和低溫版本，以及多種材質選擇。
產品規格表
| - | UNIT | nanoX 200 | nanoX 200 SG | nanoX 200 CAP |
|---|---|---|---|---|
| 料號 | – | T-106-20 | T-106-21 | T-106-26 |
| 軸向 | – | X | X | X |
| 開迴路行程 (±10%)* | µm | 240 | 240 | 240 |
| 閉迴路行程 (±0.2%)* | µm | – | 200 | 200 |
| 開迴路解析度** | nm | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 閉迴路解析度** | nm | – | 4 | 1 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 52 x 52 x 22 | 52 x 70 x 22 | 52 x 70 x 22 |
| 重量 | g | 175 | 190 | 300 |
*使用 30V300 nanoX 放大器測量的典型值。**解析度僅受功率放大器和量測系統雜訊限制。
附件
- nanoX-200-Datasheet.pdf下載
- nanoX-200-CAP-Part-Drawing.pdf下載
- nanoX-200-SG-Part-Drawing.pdf下載
- nanoX-200-Part-Drawing.pdf下載
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