nanoSXY 120
nanoSXY 系列/高速壓電平台
產品型號
nanoSXY 120
產品描述
- 行程範圍 120/100 µm（開環/閉環）
- 亞奈米解析度
- 優異的導向精度
- 高 Z 軸剛性
- 12.5 mm 中央通孔
- 緊湊設計
型號
數量
L
o
a
d
i
n
g
.
.
.
L
o
a
d
i
n
g
.
.
.
產品說明
nanoSXY 120 結合了壓電定位系統的高精度和高速度，採用特殊的致動設計實現長行程運動。該平台採用緊湊設計，高度僅 20 mm，外部尺寸僅 60 x 60 mm，中央自由空間為 12.5 mm。這些特性使其非常適合需要在大行程內進行精密運動的應用，同時保持極高的穩定性和解析度。
產品規格表
| - | 單位 | nanoSXY 120 | nanoSXY 120 CAP |
|---|---|---|---|
| 料號 | – | T-223-00 | T-223-06 |
| 軸向 | – | X, Y | X, Y |
| 開迴路行程 (±10%)* | µm | 120 | – |
| 閉迴路行程 (±0.2%)* | µm | – | 100 |
| 開迴路解析度** | nm | 0.24 | – |
| 閉迴路解析度** | nm | – | 1.0 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 60 x 60 x 20 | 60 x 87 x 30 |
| 重量 | g | 250 | 350 |
*Typical value measured with a 30V300 nanoX amplifier. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
附件
- nanoSXY-120-Datasheet.pdf下載
- nanoSXY-120-CAP-Part-Drawing.pdf下載
- nanoSXY-120-Part-Drawing.pdf下載
相關產品