nanoSXY 400
nanoSXY 系列/高速壓電平台
產品型號
nanoSXY 400
產品描述
- 行程範圍 400/320 µm（開迴路/閉迴路）
- 優異的導向精度
- 高 Z 軸剛性
- Ø 12.5 mm 中央通孔
型號
數量
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產品說明
nanoSXY 400 結合了壓電定位系統的高精度和高速度，採用特殊的致動設計實現長行程運動。此平台採用緊湊設計，高度僅 20 mm，外部尺寸僅 60 x 60 mm，中央空間為 12.5 mm。平台的超薄設計以及與 XY 掃描系統的易於組合，使該系統特別適用於各種應用。基於獨特的雙向致動 nanoX 設計，nanoSXY 400 可以 0.6 nm 的解析度移動高負載質量。該設計還保證了優異的導向精度，無寄生運動，並主動改善穩定時間。平台可配備高解析度回饋系統進行閉環控制。應用領域包括高解析度量測、X 和 XY 掃描以及動態定位。平台還提供低溫和真空版本。
產品規格表
| - | UNIT | nanoSXY 400 | nanoSXY 400 CAP |
|---|---|---|---|
| 型號 | – | T-224-00 | T-224-06 |
| 軸向 | – | X, Y | X, Y |
| 開迴路行程 (±10%)* | µm | 400 | 400 |
| 閉迴路行程 (±0.2%)* | µm | – | 320 |
| 開迴路解析度** | nm | 0.8 | 0.8 |
| 閉迴路解析度** | nm | – | 1.0 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 60 x 60 x 20 | 60 x 82 x 30 |
| 重量 | g | 300 | 410 |
*Typical value measured with a 30V300 nanoX amplifier. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
附件
- nanoSXY-400-Datasheet.pdf下載
- nanoSXY-400-CAP-Part-Drawing.pdf下載
- nanoSXY-400-Part-Drawing.pdf下載
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