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piezosystem jena 創立於德國耶拿,專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝,產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造,並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。
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展示圖檔_1

PSH 1-4z

PSH系列/傾斜式壓電平台

產品型號

PSH 1-4z

產品描述

  • 三軸快速致動器傾斜運動
  • 支援鏡面和其他元件
  • 傾斜角度 1 至 4 mrad
  • 共振頻率 2700 至 5800 Hz
  • 亞微弧度解析度
  • 提供回饋感測器版本

型號

數量

產品說明

PSH 1z、PSH 2z、PSH 3z 和 PSH 4z 鏡面傾斜系統各由兩個主動壓電致動器組成。這些致動器可使頂板在最多 3 個軸上傾斜。當所有致動器同步使用時,頂板具有高達 8 µm 的活塞運動。其中兩個軸相互垂直。

結構經過溫度補償設計,使環境溫度的變化不會影響傾斜角度。傾斜鏡面安裝座具有預載,非常適合動態應用。其主要優勢之一是高共振頻率——這就是為什麼這些系統能夠提供亞毫秒級響應時間。

提供具有整合式定位控制的閉迴路版本,可實現高定位線性度和重複性。非磁性材料和其他客製化尺寸可依需求提供。此系列專為直徑最大 50 mm 的鏡面和光學元件而設計。頂板上提供螺紋孔和銷孔以安裝其他元件。可提供特殊安裝夾,以避免安裝鏡面或其他元件時外殼與頂板之間產生扭矩力。

產品規格表
規格項目單位PSH 1zPSH 2zPSH 3zPSH 4z
Part # (Type A, 1吋)-K-201-10K-202-10K-203-10K-204-10
Part # (Type B, 1.5吋)-K-201-20K-202-20K-203-20K-204-20
軸數-X, Y, ZX, Y, ZX, Y, ZX, Y, Z
開迴路傾斜範圍*mrad1234
解析度**urad0.0020.0040.0060.008
外觀尺寸mm25 x 25 x 2425 x 25 x 3325 x 25 x 4225 x 25 x 51
重量g48586883

*係使用 NV 40/3 控制器進行量測 **解析度不受裝置本身限制,僅受功率放大器與量測系統噪訊影響。

附件
  • PSH-1z-4z-Datasheet.pdf下載
  • PSH-1-4-Part-Drawing.pdf下載
  • PSH-1-4-SG-Part-Drawing.pdf下載
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