PSH 4
PSH系列/傾斜式壓電平台
產品型號
PSH 4
產品描述
- 快速致動器傾斜平台
- 支援鏡面和其他元件
- 傾斜角度 4 mrad
- 共振頻率 2700 Hz
- 亞微弧度解析度
- 提供回饋感測器版本
型號
數量
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產品說明
PSH 4 鏡面傾斜系統系列由兩個主動壓電致動器組成。這些致動器可使頂板在最多 3 個軸上傾斜。當所有致動器同步使用時，頂板具有高達 8 µm 的活塞運動。其他兩個軸相互垂直。
平台結構經過溫度補償設計，使環境溫度的變化不會影響傾斜角度。傾斜鏡面安裝座具有預載，非常適合動態應用。此平台的核心優勢是高共振頻率——可提供亞毫秒級響應時間。
提供具有整合式定位控制的閉迴路版本，可實現高定位線性度和重複性。非磁性材料和其他客製化尺寸可依需求提供。PSH 4 鏡面定位系統系列專為直徑最大 50 mm 的鏡面和光學元件而設計。頂板上提供螺紋孔和銷孔以安裝其他元件。
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | PSH 4 | PSH 4 SG |
|---|---|---|---|
| Part # (Type A, 1吋) | - | K-204-30 | K-204-31 |
| Part # (Type B, 1.5吋) | - | K-204-40 | K-204-41 |
| 軸數 | - | X, Z | X, Z |
| 開迴路傾斜範圍 (±10%)* | mrad | 4 | - |
| 閉迴路傾斜範圍 (±0.2%)* | mrad | - | 3.2 |
| 解析度** | urad | 0.008 | 0.08 |
| 外觀尺寸 | mm | 25 x 25 x 51 | 25 x 25 x 59 |
| 重量 | g | 83 | 115 |
*Typical value measured with NV 40/3 controller (closed-loop: NV 40/3 CLE). **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
附件
- PSH-4-Datasheet.pdf下載
- PSH-1-4-Part-Drawing.pdf下載
- PSH-1-4-SG-Part-Drawing.pdf下載
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