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piezosystem jena 創立於德國耶拿,專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝,產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造,並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。
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展示圖檔_1

PSH 4/1

PSH系列/傾斜式壓電平台

產品型號

PSH 4/1

產品描述

  • 最小型的壓電掃描器
  • 傾斜範圍 4 mrad
  • 單軸 ± 傾斜平台
  • 共振頻率 6.5 kHz
  • 亞微弧度解析度

型號

數量

產品說明

PSH 4/1 壓電鏡面傾斜系統專為需要奈米級精度的超高速定位任務而設計。它非常適合用於光束導向、掃描應用、振動控制、光束對準和光束追蹤任務。

PSH 4/1 是作為 kHz 頻率的超高速掃描系統開發的。這款微型系統基於兩個主動致動器,提供總行程範圍高達 4 mrad 的 ± 傾斜。由於內部預載,系統具有非常短的穩定時間,無負載時共振頻率大於 6.5 kHz。

由於採用特殊的撓性鉸鏈設計(經有限元分析計算),系統無摩擦且無機械間隙。PSH 4/1 壓電鏡面傾斜掃描平台提供低溫和真空版本。鏡面等光學元件可直接安裝在系統板的頂部。

產品規格表
規格項目單位PSH 4/1
Part #-K-120-00
軸數-1
開迴路傾斜範圍 (±10%)*mrad±2
解析度**urad0.008
外觀尺寸 (直徑x長)mm∅12 x 20
重量g20

*Typical value measured with piezo controller 30Dv50. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

附件
  • PSH-4-1-Part-Drawing.pdf下載
  • PSH-4-1-Datasheet.pdf下載
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