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piezosystem jena 創立於德國耶拿,專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝,產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造,並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。
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展示圖檔_1

PSH 10/2

PSH系列/傾斜式壓電平台

產品型號

PSH 10/2

產品描述

  • 高動態傾斜系統
  • 傾斜軸呈垂直方向排列
  • 光學傾斜角度可達 ±8 mrad
  • 高剛度帶來高共振頻率
  • 亞微弧度解析度
  • 微秒級上升時間

型號

數量

產品說明

PSH 10/2 鏡面定位系統由 4 個壓電致動器組成,每個軸有 2 組堆疊,彼此協同控制。這些致動器可使頂板沿著兩個矩形軸傾斜。其結構經過溫度補償,因此環境溫度的變化不會影響傾斜角度。此傾斜定位平台設計用於「正負傾斜」操作。鏡座已預加載,因此非常適合動態應用。

此鏡面定位系統的高共振頻率也使其具有出色的動態操作性能。可配備整合式應變計測量系統,用於閉迴路應用。

產品規格表
-單位PSH 10/2PSH 10/2 SG
Part #-K-110-00K-110-01
軸數-X, YX, Y
開迴路傾斜範圍mrad±4-
閉迴路傾斜範圍mrad-±4
開迴路解析度*μrad0.02-
閉迴路解析度*μrad-0.2
外觀尺寸mm22 x 22 x 47.522 x 22 x 53
重量g5295

*The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

附件
  • PSH-10-2-Datasheet.pdf下載
  • PSH-X-2-Handling-Instructions.pdf下載
  • PSH-10-SG-Part-Drawing.pdf下載
  • PSH-10-2-Part-Drawing.pdf下載
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