MIPOS/顯微物鏡壓電平台
產品型號
MIPOS 800
產品描述
- 800 µm focusing range
- Compact design
- Resonant frequency up to 100 Hz
- Easy to attach on microscopes
- Closed-loop step resolution of 12 nm
- Integrated strain-gauge feedback sensor
型號
數量
L
o
a
d
i
n
g
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產品說明
產品說明
MIPOS 800 物鏡定位器在開環模式下提供高達 800 µm 的奈米定位掃描範圍，在閉環模式下提供高達 650 µm 的奈米定位掃描範圍。此定位器可與直徑最大為 40 mm 的物鏡搭配使用。
獨特的平行四邊形設計確保了高平行度運動，且不影響光軸。MIPOS 800 的精確定位重複性得益於整合的應變計測量系統。該設計包含一個整合的致動器預緊裝置，從而實現了高諧振頻率和高平行度運動。
由於 MIPOS 800 的獨特設計，可以精確實現快速掃描應用，且穩定時間短。
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | MIPOS 800 | MIPOS 800 SG |
|---|---|---|---|
| 零件編號 | - | O-341-00D | O-341-01D |
| 軸向 | - | Z | Z |
| 開環運動（±10%）* | 微米 | 800 | 800 |
| 閉環運動（±0.2%）* | 微米 | – | 650 |
| 開環解析度** | 奈米 | 1 | 1 |
| 閉環解析度** | 奈米 | – | 12 |
| 尺寸（長 x 寬 x 高） | 毫米 | 76 x 56 x 49 | 76 x 56 x 49 |
| 重量 | 克 | 350 | 360 |
附件
- MIPOS-800-SG-Datasheet-091324.pdf下載
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