PZS 3
光柵式壓電平台/壓電快門/光閘
產品型號
PZS 3
產品描述
- 2 個狹縫邊緣的對稱運動
- 由 1 個壓電致動器驅動
- 開口可達 1500 µm
- 奈米級解析度
- 真空兼容版本
- 可選配量測系統
型號
數量
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a
d
i
n
g
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產品說明
PZS 3 系統由兩個狹縫邊緣組成，由單一壓電致動器驅動。此壓電狹縫元件採用平行四邊形設計的固態撓性鉸鏈結構，以確保狹縫邊緣相對於中心線的同步性。此系統提供超高真空兼容版本，具有不同的機體和狹縫邊緣材料（因瓦合金）。
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | PZS 3 |
|---|---|---|
| 料號 | – | 0-103-00 |
| 開口 (±10%)* | µm | 0 to 1500 |
| 電容 (±20%) | µF | 7.2 |
| 開迴路解析度** | nm | 3 |
| 共振頻率 | Hz | 200 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 96 x 25 x 14 |
| 重量 | g | 70 |
*使用 NV 40/3 放大器測量的典型值（閉迴路：NV 40/3 CLE 放大器）。**小電場強度下的典型值。
附件
- PZS-1-4-Datasheet.pdf下載
- PZS-3-Part-Drawing.pdf下載
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