PSH 5/2
PSH系列/傾斜式壓電平台
產品型號
PSH 5/2
產品描述
- 高動態傾斜系統
- 傾斜軸呈垂直方向排列
- 光學傾斜角度可達 ±4 mrad
- 高剛度帶來高共振頻率
- 亞微弧度解析度
- 微秒級上升時間
型號
數量
L
o
a
d
i
n
g
.
.
.
L
o
a
d
i
n
g
.
.
.
產品說明
PSH 5/2 鏡面定位系統由 4 個壓電致動器組成，每個軸有 2 組堆疊，彼此協同控制。這些致動器可使頂板沿著兩個矩形軸傾斜。其結構經過溫度補償，因此環境溫度的變化不會影響傾斜角度。此傾斜定位平台設計用於「正負傾斜」操作。鏡座已預加載，因此非常適合動態應用。
此鏡面定位系統的高共振頻率也使其具有出色的動態操作性能。可配備整合式應變計測量系統，用於閉迴路應用。
產品規格表
| - | 單位 | PSH 5/2 | PSH 5/2 SG |
|---|---|---|---|
| 料號 | - | K-105-00 | K-105-01 |
| 軸數 | - | X, Y | X, Y |
| 開迴路傾斜範圍 | mrad | ±2 | - |
| 閉迴路傾斜範圍 | mrad | - | ±2 |
| 開迴路解析度* | µrad | 0.01 | - |
| 閉迴路解析度* | µrad | - | 0.1 |
| 外觀尺寸 | mm | 22 x 22 x 29.5 | 22 x 22 x 35 |
| 重量 | g | 40 | 85 |
*The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
附件
- PSH-5-2-Datasheet.pdf下載
- PSH-5-2-Part-Drawing.pdf下載
- PSH-5-2-SG-Part-Drawing.pdf下載
- PSH-X-2-Handling-Instructions.pdf下載
相關產品