PZS 2
光柵式壓電平台/壓電快門/光閘
產品型號
PZS 2
產品描述
- 2 個狹縫邊緣的對稱運動
- 由 1 個壓電致動器驅動
- 開口可達 60 µm
- 奈米級解析度
- 真空兼容版本
- 可選配量測系統
- 也提供鋼製狹縫邊緣
型號
數量
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o
a
d
i
n
g
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產品說明
PZS 2 的兩個狹縫邊緣由單一壓電致動器驅動。此壓電狹縫系統可配備應變規量測系統，以避免遲滯、潛變和溫度效應。配備整合量測系統的壓電元件定位精度通常為 0.1% 或更佳。壓電狹縫系統 PZS 提供超高真空兼容版本，具有不同的機體和狹縫邊緣材料（因瓦合金）。
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | PZS 2 |
|---|---|---|
| 料號 | – | 0-102-00 |
| 開口 (±10%) | µm | 0 to 60 |
| 電容 (±20%) | µF | 0.7 |
| 開迴路解析度 | nm | 0.01 |
| 共振頻率 | Hz | 1400 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 22 x 22 x 9.5 |
| 重量 | g | 100 |
*使用 NV 40/3 放大器測量的典型值（閉迴路：NV 40/3 CLE 放大器）。**小電場強度下的典型值。
附件
- PZS-1-4-Datasheet.pdf下載
- PZS-2-Part-Drawing.pdf下載
- Slit-Edges-Part-Drawing.pdf下載
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