nanoX 400
nanoX 系列/高速壓電平台
產品型號
nanoX 400
產品描述
- 行程範圍高達 480 µm
- 亞奈米解析度
- 高動態性能
- 優異的導引準確度
- ⌀ 3 mm 中央通孔
型號
數量
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產品說明
nanoX 400 是我們超快速、高負載的定位平台。它提供高達 480 微米的定位和掃描範圍。中央自由通孔允許雷射光學應用穿過平台。通過 FEA 優化，nanoX 400 提供最高的動態性能和出色的導引精度。即使在高質量負載的情況下，這也能在非常緊湊的封裝中實現。nanoX 系列專為半導體、雷射與光學以及測試與測量領域的奈米定位任務而設計。
產品規格表
| - | UNIT | nanoX 400 | nanoX 400 SG | nanoX 400 CAP |
|---|---|---|---|---|
| 料號 | – | T-108-20 | T-108-21 | T-108-26 |
| 軸向 | – | X | X | X |
| 開迴路行程 (±10%)* | µm | 480 | 480 | 480 |
| 閉迴路行程 (±0.2%)* | µm | – | 400 | 400 |
| 開迴路解析度** | nm | 0.8 | 0.8 | 0.8 |
| 閉迴路解析度** | nm | – | 8 | 2 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 52 x 32 x 52 | 52 x 32 x 52 | 52 x 32 x 70 |
| 重量 | g | 250 | 270 | 370 |
*使用 ENV40 nanoX 放大器測量的典型值。**解析度僅受功率放大器和量測系統雜訊限制。
附件
- nanoX-400-Datasheet.pdf下載
- nanoX-400-CAP-Part-Drawing.pdf下載
- nanoX-400-Part-Drawing.pdf下載
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