系列簡介

當應用需要「快」——高頻掃描、即時追焦、振動補償——普通壓電平台的共振頻率就成了瓶頸。高速系列以高剛性平行撓性結構與最佳化質量設計，把共振頻率推上數 kHz，同時保持奈米級軌跡精度。

技術特點

• kHz 級共振頻率，安定時間以毫秒計
• 平行預壓撓性導引，高加速度下仍抑制傾角誤差
• 電容感測閉迴路，動態下維持奈米精度
• 單軸 nanoX／長行程 nanoSX／雙軸 nanoSXY 全系列

典型應用

• 雷射加工的動態對焦與 Z 軸補償
• 晶圓與面板檢測的高速追焦
• 干涉量測相位調變
• 高速影像穩定與掃描顯微

選型與支援

選型關鍵：所需掃描頻率、行程與負載質量（負載會拉低共振頻率）。拿順為 piezosystem jena 台灣總代理，提供中文技術支援、選型評估與原廠報價——歡迎將您的應用條件加入詢價單，或直接與我們聯繫。