在半導體晶圓的微影、檢測與切割製程中，晶圓的精確定位至關重要。目前的半導體技術藍圖已將特徵尺寸縮小至個位數奈米，這意味著用來製造這些特徵的定位系統，也必須具備次奈米等級的解析度。壓電致動器因此非常適合用於此類高精度定位。

壓電致動器作為 OEM 元件被用於各式半導體製造設備中。壓電平台可根據對位標記，或依操作人員輸入的指令，以次奈米步距即時調整晶圓位置。

半導體製造應用的壓電解決方案

piezosystem jena 的壓電平台採用有限元素法（FEM）優化的撓性鉸鏈設計，確保晶圓定位過程中的最高效能。優勢包括：

  • 固態設計沒有機械磨耗，確保壓電元件具有長期且穩定的使用壽命。
  • 平台針對高直線度進行優化，以降低非預期的寄生位移。
  • 平台可用於真空或超高真空（UHV）環境——這是晶圓製造流程的必要條件。

軟體、控制器與晶圓定位器協同運作，精細對位晶圓以進行測試、檢測與切割

除了完整的標準品平台系列之外，piezosystem jena 亦開發了專為晶圓定位設計的平台，包括 PZ 250 CAP WL Z 軸定位器與三軸 TRITOR 320。亦可依半導體設備 OEM 的需求，討論壓電元件的客製化方案。