技术资源:光子晶圆级测试的快速光纤对位寻峰应用说明

矽光子与共封装光学(CPO)快速起飞,但光子晶片必须在晶圆级完成光学测试——每一站测试前,光纤探针都要先主动对准晶片耦合器(1-dB 容差仅 ±0.5–1 µm)。对位速度直接决定整片晶圆的测试产能。
拿顺已将 piezosystem jena 原厂应用说明 〈Fast Fiber-to-Chip Peak Search for PIC Wafer-Level Testing〉 完成繁体中文化,内容包括:
- 为什么光子测试非「主动对位」不可
- 产能算术:每站多 1 秒对位=整片晶圆多 1 小时机台时间
- 开回路速度 vs. 闭回路位置真值的两难,与「位置参照功率映射」解法
- 实测架构:TRITOR 100 SG 三轴压电平台 × NV 40/3 CLE 控制器,单次螺旋扫描约 0.8 秒、每站总对位约 5 秒
欢迎光子测试、光纤封装与量测设备的工程团队来信索取完整繁中版;8/19–22 雷射光电暨自动化双展(南港二馆 P821),现场亦有实机演示。
常见问题
光纤对晶片对位为什么需要主动寻峰?
晶片耦合器的 1-dB 对位容差只有 ±0.5–1 µm。机械定位或机器视觉可用于初步对位,但若要直接最佳化实际光耦合效率,可利用光功率作为回授讯号,透过主动扫描寻找峰值位置。
一个测试点的对位要花多久?
单次螺旋扫描约 0.8 秒,含粗定位与精扫的每站总对位时间约 5 秒。架构是两座 TRITOR 100 SG 三轴压电平台,各由一台 NV 40/3 CLE 控制器驱动。
对位慢一秒对产能影响有多大?
每个测试点多花 1 秒,整片晶圆就多出约 1 小时的机台时间。这也是光子晶圆级测试把对位速度当成首要指标的原因。
