半导体晶圆定位的压电解决方案
在半导体晶圆的微影、检测与切割制程中，晶圆的精确定位至关重要。目前的半导体技术蓝图已将特征尺寸缩小至个位数奈米，这意味着用来制造这些特征的定位系统，也必须具备次奈米等级的解析度。压电致动器因此非常适合用于此类高精度定位。
压电致动器作为 OEM 元件被用于各式半导体制造设备中。压电平台可根据对位标记，或依操作人员输入的指令，以次奈米步距即时调整晶圆位置。
半导体制造应用的压电解决方案
piezosystem jena 的压电平台采用有限元素法（FEM）优化的挠性铰链设计，确保晶圆定位过程中的最高效能。优势包括：
- 固态设计没有机械磨耗，确保压电元件具有长期且稳定的使用寿命。
- 平台针对高直线度进行优化，以降低非预期的寄生位移。
- 平台可用于真空或超高真空（UHV）环境——这是晶圆制造流程的必要条件。
软体、控制器与晶圆定位器协同运作，精细对位晶圆以进行测试、检测与切割
除了完整的标准品平台系列之外，piezosystem jena 亦开发了专为晶圆定位设计的平台，包括 PZ 250 CAP WL Z 轴定位器与三轴 TRITOR 320。亦可依半导体设备 OEM 的需求，讨论压电元件的客制化方案。
常见问题
晶圆定位为什么需要次奈米解析度？
目前的半导体技术蓝图已把特征尺寸缩小到个位数奈米，用来制造这些特征的定位系统也必须具备次奈米等级的解析度。压电平台可依对位标记或操作人员的指令，以次奈米步距即时调整晶圆位置。
压电平台能在真空环境里用吗？
可以，平台可用于真空或超高真空（UHV）环境，这是晶圆制造流程的必要条件。此外固态设计没有机械磨耗，可确保长期稳定的使用寿命。
有没有专为晶圆定位开发的型号？
有。除了完整的标准品平台系列，另有 PZ 250 CAP WL Z 轴定位器与三轴 TRITOR 320 是专为晶圆定位设计的，也可依半导体设备 OEM 的需求讨论客制方案。