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piezosystem jena 創立於德國耶拿,專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝,產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造,並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。
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展示圖檔_1
MIPOS/顯微物鏡壓電平台

MIPOS 800

  • 開環運動800 微米
  • 開環解析度1 奈米
  • 閉環運動650 微米
  • 閉環解析度12 奈米

產品特點

  • 800 µm 對焦範圍
  • 緊湊設計
  • 共振頻率達 100 Hz
  • 易於安裝於顯微鏡
  • 閉迴路步進解析度 12 nm
  • 內建應變計回饋感測器

選擇型號

數量

產品規格表
規格項目單位MIPOS 800MIPOS 800 SG
零件編號-O-341-00DO-341-01D
軸向-ZZ
開環運動(±10%)*微米800800
閉環運動(±0.2%)*微米650
開環解析度**奈米11
閉環解析度**奈米12
尺寸(長 x 寬 x 高)毫米76 x 56 x 4976 x 56 x 49
重量350360
產品說明

MIPOS 800 物鏡定位器在開環模式下提供高達 800 µm 的奈米定位掃描範圍,在閉環模式下提供高達 650 µm 的奈米定位掃描範圍。此定位器可與直徑最大為 40 mm 的物鏡搭配使用。

獨特的平行四邊形設計確保了高平行度運動,且不影響光軸。MIPOS 800 的精確定位重複性得益於整合的應變計測量系統。該設計包含一個整合的致動器預緊裝置,從而實現了高諧振頻率和高平行度運動。

由於 MIPOS 800 的獨特設計,可以精確實現快速掃描應用,且穩定時間短。

相關文件
  • MIPOS-800-SG-Datasheet-091324.pdf下載
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