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piezosystem jena 創立於德國耶拿,專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝,產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造,並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。
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展示圖檔_1
MIPOS/顯微物鏡壓電平台

MIPOS 500

  • 開迴路運動500 微米
  • 開迴路解析度0.9 奈米
  • 重量370 克

產品特點

  • 500 µm 對焦範圍
  • 緊湊設計
  • 高共振頻率
  • 易於安裝於顯微鏡
  • 搭配 Flex-Adapter 靈活使用
  • 可選配回饋感測器

選擇型號

數量

產品規格表
規格項目單位MIPOS 500 / UDMIPOS 500 SG / SG UD
軸向-ZZ
開迴路運動(±10%)*微米500500
閉迴路運動(±0.2%)*微米400
開迴路解析度**奈米0.90.9
閉迴路解析度**奈米12
尺寸(長 x 寬 x 高)毫米60.5 x 50 x 36.460.5 x 50 x 40.1
重量370370
產品說明

產品說明

MIPOS 500 系列物鏡定位器在開迴路模式下提供高達 500 µm 的奈米定位掃描範圍,在閉迴路模式下提供高達 400 µm 的奈米定位掃描範圍。此定位器可與直徑最大為 40 mm 的物鏡搭配使用。

平行四邊形設計確保了高平行度運動,且不影響光路。MIPOS 500 系列的精確定位重複性可透過選配的整合式測量系統來保證。該設計包含一個整合的致動器預緊裝置,從而實現了高諧振頻率和高平行度運動,並提供倒置顯微鏡專用的倒裝版本。

由於 MIPOS 500 系列的獨特設計,可以精確實現快速掃描應用,且穩定時間極短。

相關文件
  • MIPOS-500-Datasheet.pdf下載
  • MIPOS-500-SG-Part-Drawing.pdf下載
  • MIPOS-500-Part-Drawing.pdf下載
  • MIPOS-Accessories.pdf下載
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