- 開迴路運動範圍9 µm
- 解析度開迴路0.02 nm
- 重量12 g
產品特點
- 3D 奈米定位平台
- 緊湊型設計
- 柔性鉸鏈設計，無機械間隙
- 運動範圍可達 9 µm
- 基於有限元素分析優化平行四邊形設計的超精確定位
- 高解析度定位
選擇型號
數量
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microTRITOR/三軸壓電平台
micro TRITOR
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | microTRITOR |
|---|---|---|
| 軸向 | - | X, Y, Z |
| 開迴路運動範圍 (±10%) | µm | 9 |
| 解析度開迴路 | nm | 0.02 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 15 x 15 x 15 |
| 重量 | g | 12 |
產品說明
獨特的三維 microTRITOR 壓電平台採用極其緊湊的元件，其機械設計實現了無間隙的平行運動。儘管尺寸極小，但仍可在三個軸向上達到高達 9 µm 的運動精度，解析度達到亞奈米等級。
microTRITOR 可輕鬆與其他機械或電磁定位系統整合，從而建立解析度極高的定位系統。憑藉其獨特的設計，microTRITOR 尤其適用於動態應用。
相關文件
- microTRITOR-Part-Drawing.pdf下載
- microTRITOR-Datasheet.pdf下載