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piezosystem jena 創立於德國耶拿,專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝,產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造,並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。
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展示圖檔_1
miniTRITOR/三軸壓電平台

mini TRITOR

miniTRITOR

  • 開迴路運動範圍38 µm
  • 解析度開迴路0.07 nm
  • 重量57 g

產品特點

  • 3D 奈米定位平台
  • 緊湊型設計
  • 柔性鉸鏈設計,無機械間隙
  • 運動範圍可達 38 µm
  • 基於有限元素分析優化平行四邊形設計的超精確定位
  • 高解析度定位

選擇型號

數量

產品規格表
規格項目單位miniTRITOR
軸向-X, Y, Z
開迴路運動範圍 (±10%)µm38
解析度開迴路nm0.07
尺寸 (長 x 寬 x 高)mm19 x 19 x 16
重量g57
產品說明

獨特的三維 miniTRITOR 壓電平台採用極其緊湊的元件,其機械設計實現了無間隙的平行運動。儘管尺寸極小,但仍可在三個軸向上達到高達 38 µm 的運動精度,解析度達到亞奈米等級。

miniTRITOR 可輕鬆與其他機械或電磁定位系統整合,從而建立解析度極高的定位系統。憑藉其獨特的設計,miniTRITOR 尤其適用於動態應用。

相關文件
  • miniTRITOR-Datasheet.pdf下載
  • miniTRITOR-Part-Drawing.pdf下載
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