產品特點
- 高解析度 X Y 定位
- 最大 200 µm 運動範圍（開環）
- 最小化 Z 軸運動優化設計
- 高動態範圍
- 可擴展 Z 軸致動器用於 XYZ 掃描系統
- 可選配高解析度回饋感測器
選擇型號
數量
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i
n
g
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PXY D12/雙軸壓電平台
PXY 200 D12
產品規格表
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*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier (closed-loop: NV 40/3 CLE amplifier). **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
產品說明
PXY 200 D12 壓電定位平台專為 STM 和 AFM 應用開發。此奈米定位器針對高共振頻率和雙軸高剛性進行了優化，專為需要快速精確線掃描移動和定位的典型線掃描應用而設計。跳躍或位置變化後的短穩定時間是關鍵設計目標。壓電電致動器和壓電機械平台以其高解析度移動和長期定位穩定性而聞名。對於特殊應用，此奈米定位器可針對 X 和 Y 方向運動時 Z 方向的最小偏差進行優化。
相關文件
- PXY-D12-Datasheet-1.pdf下載
- PXY-200-D12-Part-Drawing.pdf下載