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单轴压电平台(单轴致动器)以无摩擦挠性导引取代传统滑轨:无磨耗、无背隙,闭回路下解析度达次奈米级。PX/PU/PZ 系列涵盖 X 向与 Z 向、行程 38 µm 至 1.5 mm 的完整选择,并有真空相容版本。
单轴压电平台

单轴压电平台

系列简介

单轴平台是压电定位的入门主力:一个方向、一件事做到极致。挠性导引结构没有滚珠与滑轨的摩擦与磨耗,位移由压电叠层直接驱动,重现性与解析度都是传统机构达不到的等级。

技术特点

  • 行程 38 µm 至 1500 µm(PX 1500)
  • 闭回路解析度达次奈米级(电容感测选配)
  • X 向、Z 向与低剖面多种构型
  • 真空相容与 OEM 客制版本
  • 直接安装于既有光学系统,整合门槛低

典型应用

  • 光学元件与样品的精密对位
  • 干涉量测与光谱仪的扫描轴
  • 自动对焦与 Z 向补偿
  • 半导体检测设备的微调模组

选型与支援

选型关键:行程、负载、开闭回路需求与安装空间。拿顺为 piezosystem jena 台湾独家总代理,提供中文技术支援、选型评估与原厂报价——欢迎将您的应用条件加入询价单,或直接与我们联系。

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