双轴压电平台

系列简介

把两个单轴平台叠起来做 XY 运动，会同时叠加两份误差与两份惯量。双轴压电平台在单一框架内完成 XY 定位：更低的形变、更高的共振频率、真正的平面内奈米精度。

技术特点

• 单体框架整合双轴，无堆叠误差
• 中央开孔，穿透光路直接通过
• 行程 16–200 µm 多种规格
• 电容感测闭回路选配
• 12V 低压 D12 版本免高压放大器

典型应用

• 显微扫描与样品定位
• 晶圆与光罩对位
• 光子元件耦合对准
• 扫描探针显微（SPM）平面扫描

选型与支援

选型关键：行程、开孔尺寸、动态需求与驱动电压架构。拿顺为 piezosystem jena 台湾总代理，提供中文技术支援、选型评估与原厂报价——欢迎将您的应用条件加入询价单，或直接与我们联系。