- 开回路行程40 µm
- 开回路解析度0.08 nm
- 料号S-605-37
- 重量90 g
产品特点
- 高解析度 X Y 定位
- 最大 40 µm 運動範圍
- 最小化 Z 軸運動優化設計
- 高動態範圍
- 可擴展 Z 軸致動器用於 XYZ 掃描系統
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PXY D12/双轴压电平台
PXY 40 D12
产品说明
PXY 40 D12 壓電定位平台專為 STM 和 AFM 應用開發。此奈米定位器針對高共振頻率和雙軸高剛性進行了優化，專為需要快速精確線掃描移動和定位的典型線掃描應用而設計。跳躍或位置變化後的短穩定時間是關鍵設計目標。壓電電致動器和壓電機械平台以其高解析度移動和長期定位穩定性而聞名。對於特殊應用，此奈米定位器可針對 X 和 Y 方向運動時 Z 方向的最小偏差進行優化。
产品规格表
| 名称 | 单位 | PXY 40 D12 |
|---|---|---|
| 料号 | - | S-605-37 |
| 轴向 | – | X, Y |
| 开回路行程 (±10%)* | µm | 40 |
| 开回路解析度** | nm | 0.08 |
| 尺寸 (长 x 宽 x 高) | mm | 54 x 53.5 x 20 |
| 重量 | g | 90 |
*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
相关文件
- PXY-D12-Datasheet-1.pdf下载
- PXY-40-D12-Part-Drawing.pdf下载
常见问题
开回路与闭回路版本怎么选？
需要绝对定位精度与重现性（量测、对位）选闭回路；只需相对微动或扫描、且系统另有回授时，开回路成本更低、响应更快。
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