- 解析度开回路0.02 nm
- 开回路运动范围9 µm
- 重量12 g
产品特点
- 3D 奈米定位平台
- 緊湊型設計
- 柔性鉸鏈設計,無機械間隙
- 運動範圍可達 9 µm
- 基於有限元素分析優化平行四邊形設計的超精確定位
- 高解析度定位
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数量
| 规格项目 | 单位 | microTRITOR |
|---|---|---|
| 轴向 | - | X, Y, Z |
| 开回路运动范围 (±10%) | µm | 9 |
| 解析度开回路 | nm | 0.02 |
| 尺寸 (长 x 宽 x 高) | mm | 15 x 15 x 15 |
| 重量 | g | 12 |
獨特的三維 microTRITOR 壓電平台採用極其緊湊的元件,其機械設計實現了無間隙的平行運動。儘管尺寸極小,但仍可在三個軸向上達到高達 9 µm 的運動精度,解析度達到亞奈米等級。
microTRITOR 可輕鬆與其他機械或電磁定位系統整合,從而建立解析度極高的定位系統。憑藉其獨特的設計,microTRITOR 尤其適用於動態應用。