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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
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展示图档_2
microTRITOR/三轴压电平台

micro TRITOR

  • 解析度开回路0.02 nm
  • 开回路运动范围9 µm
  • 重量12 g

产品特点

  • 3D 奈米定位平台
  • 緊湊型設計
  • 柔性鉸鏈設計,無機械間隙
  • 運動範圍可達 9 µm
  • 基於有限元素分析優化平行四邊形設計的超精確定位
  • 高解析度定位

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产品规格表
规格项目单位microTRITOR
轴向-X, Y, Z
开回路运动范围 (±10%)µm9
解析度开回路nm0.02
尺寸 (长 x 宽 x 高)mm15 x 15 x 15
重量g12
产品说明

獨特的三維 microTRITOR 壓電平台採用極其緊湊的元件,其機械設計實現了無間隙的平行運動。儘管尺寸極小,但仍可在三個軸向上達到高達 9 µm 的運動精度,解析度達到亞奈米等級。

microTRITOR 可輕鬆與其他機械或電磁定位系統整合,從而建立解析度極高的定位系統。憑藉其獨特的設計,microTRITOR 尤其適用於動態應用。

相关文件
  • microTRITOR-Part-Drawing.pdf下载
  • microTRITOR-Datasheet.pdf下载
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