- 行程3.5 mm
- 阻挡力3 N
- 重量6 g
- 速度1.5 mm/s
产品特点
- 3.5 mm 行程,15 × 15 mm 佔位面積
- 系列中最小的線性定位平台
- 搭配 CF30 控制器步距約 10 nm
- 重量僅 6 g
- 另有真空與 UHV 版本
数量
MS15 (3.5mm travel)
mechonics 亚洲代理MS15 是 Mechonics 產品線中最小的壓電慣性驅動線性平台,佔位面積僅 15 × 15 mm、高度 7 mm、重量 6 g,適合空間極度受限的顯微鏡、光學與微組裝應用。
搭配 CF30 控制器可達約 10 nm 的步距,最高速度 1.5 mm/s;承載力(Fy、Fz)達 20 N,偏擺角 20 arcsec、俯仰角 60 arcsec,具備優異的運動精度。可堆疊組合為 XY、XYZ 多軸系統,並提供真空與 UHV 版本。
| 规格项目 | 单位 | MS15 (3.5mm travel) |
|---|---|---|
| 行程 | mm | 3.5 |
| 尺寸(宽×深×高) | mm | 15 × 15 × 7 |
| 重量 | g | 6 |
| 速度 | mm/s | 1.5 |
| 阻挡力(Fx) | N | 3 |
| 承载力(Fy、Fz) | N | 20 |
| 偏摆角/俯仰角 | arcsec | 20/60 |
| 垂直/侧向偏差 | µm | 1/2 |