- 行程3.5 mm
- 阻挡力3 N
- 单轴重量6 g
- 速度1.5 mm/s
产品特点
- X、Y、Z 三軸各 3.5 mm 行程
- 由三座 MS15 搭配 L 型支架組成
- 單軸佔位面積僅 15 × 15 mm
- 超輕量三軸定位系統
数量
MS15 xyz-mounted
mechonics 亚洲代理MS15 xyz-mounted 是由三座 MS15 超小型壓電慣性驅動平台組成的 XYZ 三軸定位系統,Z 軸以 L 型支架直立安裝,於三個軸向各提供 3.5 mm 行程,適合光纖對位、微探針與顯微操作等空間受限的三維定位需求。
單一平台佔位面積僅 15 × 15 mm、高度 7 mm、重量 6 g;最高速度 1.5 mm/s,偏擺角 20 arcsec、俯仰角 60 arcsec。另有真空與 UHV 版本可選。
| 规格项目 | 单位 | MS15 xyz-mounted |
|---|---|---|
| 行程(X、Y、Z) | mm | 3.5 |
| 单轴尺寸(宽×深×高) | mm | 15 × 15 × 7 |
| 单轴重量 | g | 6 |
| 速度 | mm/s | 1.5 |
| 阻挡力(Fx、Fy、Fz) | N | 3 |
| 偏摆角/俯仰角 | arcsec | 20/60 |
| 垂直/侧向偏差 | µm | 1/2 |