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Piezosystem Jena Banner
piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
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展示图档_2
nanoMIPOS/显微物镜压电平台

nanoMIPOS 400

  • 开回路解析度180 奈米
  • 开回路运动400 微米
  • 重量300 克

产品特点

  • 400 µm 對焦行程,步進解析度達亞奈米級
  • 可容納最大直徑 39 mm 的物鏡
  • 溫度補償設計
  • 高剛性帶來極短的安定時間
  • 通用螺紋轉接環,適配各廠牌物鏡
  • 可選配整合式電容回饋感測器
  • 適用於正立與倒立顯微鏡

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产品规格表
规格项目单位nanoMIPOS 400nanoMIPOS 400 CAP
轴向-ZZ
开回路运动(±10%)微米400400
闭回路运动(±0.2%)*微米-320
开回路解析度奈米180180
闭回路解析度奈米-1
尺寸(直径 x 高)毫米65 x 45 x 4065 x 45 x 40
重量300315
产品说明

nanoMIPOS 400 在開環操作下可提供高達 400 µm 的奈米定位與掃描範圍,閉環操作下則可達 320 µm。此系統可搭配直徑最大 39 mm 的物鏡使用。

精密的整體式導引設計採用實心撓性鉸鏈,使運動軌跡完全無機械間隙與摩擦,這是 piezosystem jena 所有平台的共同特色。

先進的 nanoMIPOS 400 設計經過有限元素分析最佳化,具有極低的側向與旋轉偏移,以及出色的導引精度,同時對偏心與側向負載具備良好的耐受性。

為避免漂移與遲滯現象,nanoMIPOS 400 可配備電容式量測系統。搭配 piezosystem jena 控制器使用時,可在閉環操作下實現高穩定性、線性度、重複性與精確度。

相关文件
  • nanoMIPOS-400-Datasheet.pdf下载
  • nanoMIPOS-400-CAP-Part-Drawing.pdf下载
  • MIPOS-Accessories.pdf下载
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