- 开回路行程400 µm
- 开回路解析度0.8 nm
- 重量300 g
产品特点
- 行程範圍 400/320 µm（開迴路/閉迴路）
- 優異的導向精度
- 高 Z 軸剛性
- Ø 12.5 mm 中央通孔
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nanoSXY 系列/高速压电平台
nanoSXY 400
产品规格表
| - | UNIT | nanoSXY 400 | nanoSXY 400 CAP |
|---|---|---|---|
| 型号 | – | T-224-00 | T-224-06 |
| 轴向 | – | X, Y | X, Y |
| 开回路行程 (±10%)* | µm | 400 | 400 |
| 闭回路行程 (±0.2%)* | µm | – | 320 |
| 开回路解析度** | nm | 0.8 | 0.8 |
| 闭回路解析度** | nm | – | 1.0 |
| 尺寸 (长 x 宽 x 高) | mm | 60 x 60 x 20 | 60 x 82 x 30 |
| 重量 | g | 300 | 410 |
*Typical value measured with a 30V300 nanoX amplifier. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
产品说明
nanoSXY 400 結合了壓電定位系統的高精度和高速度，採用特殊的致動設計實現長行程運動。此平台採用緊湊設計，高度僅 20 mm，外部尺寸僅 60 x 60 mm，中央空間為 12.5 mm。平台的超薄設計以及與 XY 掃描系統的易於組合，使該系統特別適用於各種應用。基於獨特的雙向致動 nanoX 設計，nanoSXY 400 可以 0.6 nm 的解析度移動高負載質量。該設計還保證了優異的導向精度，無寄生運動，並主動改善穩定時間。平台可配備高解析度回饋系統進行閉環控制。應用領域包括高解析度量測、X 和 XY 掃描以及動態定位。平台還提供低溫和真空版本。
相关文件
- nanoSXY-400-Datasheet.pdf下载
- nanoSXY-400-CAP-Part-Drawing.pdf下载
- nanoSXY-400-Part-Drawing.pdf下载