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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
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展示图档_2
nanoX 系列/高速压电平台

nanoX 400

  • 开回路行程480 µm
  • 开回路解析度0.8 nm
  • 重量250 g

产品特点

  • 行程範圍高達 480 µm
  • 亞奈米解析度
  • 高動態性能
  • 優異的導引準確度
  • ⌀ 3 mm 中央通孔

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产品规格表
-UNITnanoX 400nanoX 400 SGnanoX 400 CAP
料号T-108-20T-108-21T-108-26
轴向XXX
开回路行程 (±10%)*µm480480480
闭回路行程 (±0.2%)*µm400400
开回路解析度**nm0.80.80.8
闭回路解析度**nm82
尺寸 (长 x 宽 x 高)mm52 x 32 x 5252 x 32 x 5252 x 32 x 70
重量g250270370

*使用 ENV40 nanoX 放大器测量的典型值。**解析度仅受功率放大器和量测系统杂讯限制。

产品说明

nanoX 400 是我們超快速、高負載的定位平台。它提供高達 480 微米的定位和掃描範圍。中央自由通孔允許雷射光學應用穿過平台。通過 FEA 優化,nanoX 400 提供最高的動態性能和出色的導引精度。即使在高質量負載的情況下,這也能在非常緊湊的封裝中實現。nanoX 系列專為半導體、雷射與光學以及測試與測量領域的奈米定位任務而設計。

相关文件
  • nanoX-400-Datasheet.pdf下载
  • nanoX-400-CAP-Part-Drawing.pdf下载
  • nanoX-400-Part-Drawing.pdf下载
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