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piezosystem jena 創立於德國耶拿，專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝，產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造，並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。

Piezosystem Jena 三軸壓電平台 TRITOR TRITOR 101&102

產品介紹

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TRITOR/三軸壓電平台

TRITOR 101&102

開迴路運動範圍100 µm
解析度0.2 nm
重量480 g

3D 壓電奈米定位系統
中央孔徑（最大 40 mm）
XYZ 行程可達 100 µm
可選配整合式位置感測器
每軸無間隙運動
亞奈米解析度
可適配顯微鏡平台

產品規格表

規格項目	單位	TRITOR 101	TRITOR 101 SG	TRITOR 101 CAP	TRITOR 102	TRITOR 102 SG	TRITOR 102 CAP
軸向	-	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z
開迴路運動範圍 (±10%)	µm	100	100	100	100	100	100
閉迴路運動範圍	µm	-	80	80	-	80	80
解析度	nm	0.2	2	0.2	0.2	2	0.2
尺寸 (L x W x H)	mm	68 x 68 x 30	68 x 68 x 30	68 x 68 x 30	80 x 80 x 30	80 x 80 x 30	80 x 80 x 30
重量	g	480	570	570	520	610	610

產品說明

TRITOR 101 和 TRITOR 102 是具有大中央孔徑的多軸壓電平台。TRITOR 101 的孔徑為 12.5 mm，TRITOR 102 的孔徑為 40 mm。平行導向彈性體配置確保了 X、Y 和 Z 軸的無間隙運動。與所有其他 TRITOR 型號一樣，這些平台可選配整合式應變規（SG）或電容式（CAP）回授感測器，以實現閉迴路操作。

相關文件

TRITOR-101-102-Datasheet.pdf下載
TRITOR-102-CT-CAP-Part-Drawing.pdf下載
TRITOR-102-CAP-Part-Drawing.pdf下載
TRITOR-102-SG-Part-Drawing.pdf下載
TRITOR-102-Part-Drawing.pdf下載
TRITOR-101-CAP-Part-Drawing.pdf下載
TRITOR-101-SG-Part-Drawing.pdf下載
TRITOR-101-Part-Drawing.pdf下載