- 重量8000 g
產品特點
- 3D 壓電平台，負載能力達 20 kg
- XYZ 運動範圍達 50/50/400 µm
- 150 x 150 mm 開放孔徑
- 0.8 nm 高解析度
- 最短穩定時間與最低軌跡偏差
- 可選配整合式電容感測器（閉迴路）
選擇型號
數量
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n
g
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TRITOR/三軸壓電平台
TRITOR 320
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | TRITOR 320 | TRITOR 320 CAP |
|---|---|---|---|
| 軸向 | - | X, Y, Z | X, Y, Z |
| 開迴路運動範圍 (±10%) | µm | 50/50/400 | 50/50/400 |
| 閉迴路運動範圍 | µm | - | 40/40/320 |
| 解析度 (開迴路) | nm | 0.1/0.1/0.8 | 0.1/0.1/0.8 |
| 尺寸 (L x W x H) | mm | 320 x 320 x 55 | 320 x 320 x 55 |
| 重量 | g | 8000 | 8000 |
產品說明
TRITOR 320 能夠承載高達 20 kg 的負載，是市場上最堅固的壓電驅動 3D 定位平台之一。該平台可選配整合式回授感測器，實現閉迴路控制。彈性鉸鏈的獨特設計確保無摩擦的優異使用性。高剛性結合優異的運動直線度，使 TRITOR 320 成為重型物件（如晶圓夾盤、接合工具和取放平台）奈米級高精度定位的理想選擇。
相關文件
- TRITOR-320-Datasheet.pdf下載