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三轴压电平台在一体式挠性结构中整合 XYZ 运动,避免堆叠误差与累积形变,是扫描显微与奈米操作的标准配置。TRITOR 家族从立方公分级的 micro 版到 400 µm 行程的完整版一应俱全。
三轴压电平台

三轴压电平台

系列简介

空间中的奈米定位需要三个轴同时听话。三轴压电平台以单体挠性结构同时提供 XYZ 运动,三轴共用同一参考框架,精度不因堆叠而流失,体积也远小于三台单轴的组合。

技术特点

  • 单体结构整合 XYZ,无堆叠误差
  • 行程 38–400 µm 多种组合
  • 开孔设计相容穿透光路
  • microTRITOR/miniTRITOR 对应极小空间
  • 闭回路感测选配,空间定位达奈米级

典型应用

  • AFM/SPM 扫描
  • 共轭焦显微样品定位
  • 光纤与波导三维对位
  • 微装配与奈米操作

选型与支援

选型关键:三轴行程组合、空间限制与动态需求。拿顺为 piezosystem jena 台湾独家总代理,提供中文技术支援、选型评估与原厂报价——欢迎将您的应用条件加入询价单,或直接与我们联系。

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