- 解析度开回路0.07 nm
- 开回路运动范围38 µm
- 重量115 g
产品特点
- 3D 奈米定位平台
- 緊湊型設計
- 柔性鉸鏈設計，無機械間隙
- 運動範圍可達 38 µm
- 基於有限元素分析優化平行四邊形設計的超精確定位
- 高解析度定位
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TRITOR/三轴压电平台
TRITOR 38
产品说明
獨特的三維 TRITOR 38 壓電平台採用極其緊湊的元件，其機械設計實現了無間隙的平行運動。儘管尺寸極小，但仍可在三個軸向上達到高達 38 µm 的運動精度，解析度達到亞奈米等級。
獨特的立方體奈米柔性導向系統設計，無摩擦，使用體驗極佳。結合高剛性和出色的運動直線性，TRITOR 38 是光纖對準、雷射技術和其他高精度微定位應用中奈米級高精度定位的理想選擇。
TRITOR 38 可輕鬆與其他機械或電磁定位系統整合，從而建立解析度極高的定位系統。憑藉其獨特的設計，TRITOR 38 尤其適用於動態應用。
产品规格表
| 规格项目 | 单位 | TRITOR 38 | TRITOR 38 SG |
|---|---|---|---|
| 轴向 | - | X, Y, Z | X, Y, Z |
| 开回路运动范围 (±10%) | µm | 38 | 38 |
| 闭回路运动范围 (±0.2%) | µm | - | 30 |
| 解析度开回路 | nm | 0.07 | 0.8 |
| 尺寸 (长 x 宽 x 高) | mm | 25 x 25 x 25 | 40 x 40 x 33.5 |
| 重量 | g | 115 | 130 |
相关文件
- TRITOR-38-Datasheet.pdf下载
- TRITOR-38-SG-VAC-Part-Drawing.pdf下载
- TRITOR-38-Part-Drawing.pdf下载
常见问题
开回路与闭回路版本怎么选？
需要绝对定位精度与重现性（量测、对位）选闭回路；只需相对微动或扫描、且系统另有回授时，开回路成本更低、响应更快。
可以先试机再决定吗？
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