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piezosystem jena 创立于德国耶拿，专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺，产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造，并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。

Piezosystem Jena 三轴压电平台 TRITOR TRITOR 320

产品介绍

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TRITOR/三轴压电平台

TRITOR 320

重量8000 g

3D 壓電平台，負載能力達 20 kg
XYZ 運動範圍達 50/50/400 µm
150 x 150 mm 開放孔徑
0.8 nm 高解析度
最短穩定時間與最低軌跡偏差
可選配整合式電容感測器（閉迴路）

产品规格表

规格项目	单位	TRITOR 320	TRITOR 320 CAP
轴向	-	X, Y, Z	X, Y, Z
开回路运动范围 (±10%)	µm	50/50/400	50/50/400
闭回路运动范围	µm	-	40/40/320
解析度 (开回路)	nm	0.1/0.1/0.8	0.1/0.1/0.8
尺寸 (L x W x H)	mm	320 x 320 x 55	320 x 320 x 55
重量	g	8000	8000

产品说明

TRITOR 320 能夠承載高達 20 kg 的負載，是市場上最堅固的壓電驅動 3D 定位平台之一。該平台可選配整合式回授感測器，實現閉迴路控制。彈性鉸鏈的獨特設計確保無摩擦的優異使用性。高剛性結合優異的運動直線度，使 TRITOR 320 成為重型物件（如晶圓夾盤、接合工具和取放平台）奈米級高精度定位的理想選擇。

相关文件

TRITOR-320-Datasheet.pdf下载