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piezosystem jena 创立于德国耶拿，专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺，产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造，并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。

Piezosystem Jena 三轴压电平台 TRITOR TRITOR 101&102

产品介绍

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TRITOR/三轴压电平台

TRITOR 101&102

解析度0.2 nm
开回路运动范围100 µm
重量480 g

3D 壓電奈米定位系統
中央孔徑（最大 40 mm）
XYZ 行程可達 100 µm
可選配整合式位置感測器
每軸無間隙運動
亞奈米解析度
可適配顯微鏡平台

产品规格表

规格项目	单位	TRITOR 101	TRITOR 101 SG	TRITOR 101 CAP	TRITOR 102	TRITOR 102 SG	TRITOR 102 CAP
轴向	-	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z	X, Y, Z
开回路运动范围 (±10%)	µm	100	100	100	100	100	100
闭回路运动范围	µm	-	80	80	-	80	80
解析度	nm	0.2	2	0.2	0.2	2	0.2
尺寸 (L x W x H)	mm	68 x 68 x 30	68 x 68 x 30	68 x 68 x 30	80 x 80 x 30	80 x 80 x 30	80 x 80 x 30
重量	g	480	570	570	520	610	610

产品说明

TRITOR 101 和 TRITOR 102 是具有大中央孔徑的多軸壓電平台。TRITOR 101 的孔徑為 12.5 mm，TRITOR 102 的孔徑為 40 mm。平行導向彈性體配置確保了 X、Y 和 Z 軸的無間隙運動。與所有其他 TRITOR 型號一樣，這些平台可選配整合式應變規（SG）或電容式（CAP）回授感測器，以實現閉迴路操作。

相关文件

TRITOR-101-102-Datasheet.pdf下载
TRITOR-102-CT-CAP-Part-Drawing.pdf下载
TRITOR-102-CAP-Part-Drawing.pdf下载
TRITOR-102-SG-Part-Drawing.pdf下载
TRITOR-102-Part-Drawing.pdf下载
TRITOR-101-CAP-Part-Drawing.pdf下载
TRITOR-101-SG-Part-Drawing.pdf下载
TRITOR-101-Part-Drawing.pdf下载