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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
PSH系列/倾斜式压电平台

PSH 10/2

  • Part #K-110-00
  • 开回路倾斜范围±4 mrad
  • 重量52 g

产品特点

  • 高動態傾斜系統
  • 傾斜軸呈垂直方向排列
  • 光學傾斜角度可達 ±8 mrad
  • 高剛度帶來高共振頻率
  • 亞微弧度解析度
  • 微秒級上升時間

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产品规格表
-单位PSH 10/2PSH 10/2 SG
Part #-K-110-00K-110-01
轴数-X, YX, Y
开回路倾斜范围mrad±4-
闭回路倾斜范围mrad-±4
开回路解析度*μrad0.02-
闭回路解析度*μrad-0.2
外观尺寸mm22 x 22 x 47.522 x 22 x 53
重量g5295

*The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

产品说明

PSH 10/2 鏡面定位系統由 4 個壓電致動器組成,每個軸有 2 組堆疊,彼此協同控制。這些致動器可使頂板沿著兩個矩形軸傾斜。其結構經過溫度補償,因此環境溫度的變化不會影響傾斜角度。此傾斜定位平台設計用於「正負傾斜」操作。鏡座已預加載,因此非常適合動態應用。

此鏡面定位系統的高共振頻率也使其具有出色的動態操作性能。可配備整合式應變計測量系統,用於閉迴路應用。

相关文件
  • PSH-10-2-Datasheet.pdf下载
  • PSH-X-2-Handling-Instructions.pdf下载
  • PSH-10-SG-Part-Drawing.pdf下载
  • PSH-10-2-Part-Drawing.pdf下载
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