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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
PSH系列/倾斜式压电平台

PSH 4

  • Part #K-204-30
  • Part #K-204-40
  • 开回路倾斜范围4 mrad
  • 重量83 g

产品特点

  • 快速致動器傾斜平台
  • 支援鏡面和其他元件
  • 傾斜角度 4 mrad
  • 共振頻率 2700 Hz
  • 亞微弧度解析度
  • 提供回饋感測器版本

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数量

产品规格表
规格项目单位PSH 4PSH 4 SG
Part # (Type A, 1吋)-K-204-30K-204-31
Part # (Type B, 1.5吋)-K-204-40K-204-41
轴数-X, ZX, Z
开回路倾斜范围 (±10%)*mrad4-
闭回路倾斜范围 (±0.2%)*mrad-3.2
解析度**urad0.0080.08
外观尺寸mm25 x 25 x 5125 x 25 x 59
重量g83115

*Typical value measured with NV 40/3 controller (closed-loop: NV 40/3 CLE). **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

产品说明

PSH 4 鏡面傾斜系統系列由兩個主動壓電致動器組成。這些致動器可使頂板在最多 3 個軸上傾斜。當所有致動器同步使用時,頂板具有高達 8 µm 的活塞運動。其他兩個軸相互垂直。

平台結構經過溫度補償設計,使環境溫度的變化不會影響傾斜角度。傾斜鏡面安裝座具有預載,非常適合動態應用。此平台的核心優勢是高共振頻率——可提供亞毫秒級響應時間。

提供具有整合式定位控制的閉迴路版本,可實現高定位線性度和重複性。非磁性材料和其他客製化尺寸可依需求提供。PSH 4 鏡面定位系統系列專為直徑最大 50 mm 的鏡面和光學元件而設計。頂板上提供螺紋孔和銷孔以安裝其他元件。

相关文件
  • PSH-4-Datasheet.pdf下载
  • PSH-1-4-Part-Drawing.pdf下载
  • PSH-1-4-SG-Part-Drawing.pdf下载
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