- 开回路解析度0.05 nm
- 电容1.8 µF
- 共振频率450 Hz
- 重量115 g
产品特点
- 2 個狹縫邊緣的對稱運動
- 由 1 個壓電致動器驅動
- 開口可達 230 µm
- 奈米級精確解析度
- 真空兼容版本
- 可選配量測系統
- 也提供鋼製狹縫邊緣
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光栅式压电平台/压电快门/光闸
PZS 1
产品规格表
| 规格项目 | 单位 | PZS 1 |
|---|---|---|
| 料号 | – | O-101-00 |
| 开口 (±10%) | µm | 0 to 230 |
| 电容 (±20%) | µF | 1.8 |
| 开回路解析度 | nm | 0.05 |
| 共振频率 | Hz | 450 |
| 尺寸 (长 x 宽 x 高) | mm | 42 x 42 x 14 |
| 重量 | g | 115 |
*使用 NV 40/3 放大器测量的典型值（闭回路：NV 40/3 CLE 放大器）。**小电场强度下的典型值。
产品说明
PZS 1 的兩個狹縫邊緣由單一壓電致動器驅動。此壓電狹縫系統可配備應變規量測系統，以避免遲滯、潛變和溫度效應。配備整合量測系統的壓電元件定位精度通常為 0.1% 或更佳。壓電狹縫系統 PZS 提供超高真空兼容版本，具有不同的機體和狹縫邊緣材料（因瓦合金）。
相关文件
- PZS-1-4-Datasheet.pdf下载
- PZS-1-Part-Drawing.pdf下载
- Slit-Edges-Part-Drawing.pdf下载