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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
光栅式压电平台/压电快门/光闸

PZS 4

piezosystem jena 台湾独家总代理
  • 开回路解析度0.6 nm
  • 电容2.5 µF
  • 共振频率500 Hz
  • 重量115 g

产品特点

  • 2 個狹縫邊緣的對稱運動
  • 由 1 個壓電致動器驅動
  • 開口可達 300 µm
  • 奈米級解析度
  • 真空兼容版本
  • 可選配量測系統

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产品说明

PZS 4 由兩個狹縫邊緣組成,由單一壓電致動器驅動。此壓電狹縫元件採用平行四邊形設計的固態撓性鉸鏈結構,以確保狹縫邊緣相對於中心線的同步性。此壓電狹縫 PZS 系統提供超高真空兼容版本,具有不同的機體和狹縫邊緣材料(因瓦合金)。

产品规格表
规格项目单位PZS 4
料号–O-101-80
开口 (±10%)µm0 to 300
电容 (±20%)µF2.5
开回路解析度nm0.6
共振频率Hz500
尺寸 (长 x 宽 x 高)mm50 x 50 x 14
重量g115

*使用 NV 40/3 放大器测量的典型值(闭回路:NV 40/3 CLE 放大器)。**小电场强度下的典型值。

相关文件
  • PZS-1-4-Datasheet.pdf下载
  • PZS-4-SG-Part-Drawing.pdf下载
  • Slit-Edges-Part-Drawing.pdf下载
常见问题
开回路与闭回路版本怎么选?
需要绝对定位精度与重现性(量测、对位)选闭回路;只需相对微动或扫描、且系统另有回授时,开回路成本更低、响应更快。
可以先试机再决定吗?
拿顺为 piezosystem jena 台湾独家总代理,备有常用展示机可预约测试,并提供中文选型与原厂技术对接。
PZS 4 的报价与交期怎么确认?
请将 PZS 4 与您的行程、负载、精度需求加入询价单,我们会协助选型确认并回复原厂报价与交期。
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