系列简介

当应用需要「快」——高频扫描、即时追焦、振动补偿——普通压电平台的共振频率就成了瓶颈。高速系列以高刚性平行挠性结构与最佳化质量设计，把共振频率推上数 kHz，同时保持奈米级轨迹精度。

技术特点

• kHz 级共振频率，安定时间以毫秒计
• 平行预压挠性导引，高加速度下仍抑制倾角误差
• 电容感测闭回路，动态下维持奈米精度
• 单轴 nanoX／长行程 nanoSX／双轴 nanoSXY 全系列

典型应用

• 雷射加工的动态对焦与 Z 轴补偿
• 晶圆与面板检测的高速追焦
• 干涉量测相位调变
• 高速影像稳定与扫描显微

选型与支援

选型关键：所需扫描频率、行程与负载质量（负载会拉低共振频率）。拿顺为 piezosystem jena 台湾总代理，提供中文技术支援、选型评估与原厂报价——欢迎将您的应用条件加入询价单，或直接与我们联系。