PXY 系列/雙軸壓電平台
PXY 100
- 開迴路行程100 μm
- 開迴路解析度0.2 nm
- 重量102 g
產品特點
- 精確平行運動
- 最大 100 µm 運動範圍
- 無機械間隙
- 易與其他壓電系統結合
- 精密銷孔便於精確調整
- 高動態範圍
選擇型號
數量
| 規格項目 | 單位 | PXY 100 | PXY 100 SG | PXY 100 CAP |
|---|---|---|---|---|
| 零件編號 | - | T-203-00 | T-203-01 | T-203-06 |
| 軸向 | - | X, Y | X, Y | X, Y |
| 開迴路行程 (±10%) | μm | 100 | 100 | 100 |
| 閉迴路行程 (±0.2%) | μm | - | 80 | 80 |
| 開迴路解析度 | nm | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 閉迴路解析度 | nm | - | 2 | 1 |
| 尺寸 (L×W×H) | mm | 40 x 40 x 20 | 60 x 60 x 21 | 65 x 65 x 20 |
| 重量 | g | 102 | 175 | 300 |
PXY 100 採用平行四邊形結構的固態鉸鏈,可在 X 和 Y 方向實現無機械間隙的平行運動。這種結構設計實現了遠超機械和機電定位系統解析度的高解析度解決方案。奈米定位平台 PXY 100 可輕鬆安裝於其他定位系統,並可配備應變規量測以克服遲滯效應。亦提供低溫和真空版本的 PXY 100。可進行動態操作,非常適合解決掃描問題。