- 開迴路行程100 μm
- 開迴路解析度0.2 nm
- 重量520 g
產品特點
- 二維奈米定位平台
- 40 mm 中央開孔
- XY 運動範圍可達 100 µm
- 可選配整合式回饋感測器
- 無機械間隙
- 高定位解析度
- 專為顯微鏡平台設計
- 高共振頻率，適用於精密線掃描應用
選擇型號
數量
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n
g
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PXY 系列/雙軸壓電平台
PXY 102
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | PXY 102 | PXY 102 SG | PXY 102 CAP |
|---|---|---|---|---|
| 零件編號 | - | T-205-10 | T-205-11 | T-205-16 |
| 軸向 | - | X, Y | X, Y | X, Y |
| 開迴路行程 (±10%) | μm | 100 | 100 | 100 |
| 閉迴路行程 (±0.2%) | μm | - | 80 | 80 |
| 開迴路解析度 | nm | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 閉迴路解析度 | nm | - | 2 | 1 |
| 尺寸 (L×W×H) | mm | 80 x 80 x 30 | 80 x 80 x 30 | 80 x 80 x 30 |
| 重量 | g | 520 | 610 | 700 |
*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier. **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
產品說明
PXY 102 壓電平台結構緊湊，在 X 和 Y 軸上可提供高達 100 μm 的開迴路運動。其獨特的立方體機械設計可實現無間隙的平行運動。它非常適合從光學研究到 OEM 系統的多種應用。顯微鏡中的探針對準通常需要開放的中心空間以便光線通過。PXY 102 具有 40 mm 的中央孔徑，專為此應用而開發。高剛度結合出色的運動直線度，使 PXY 102 成為光學、雷射技術及任何其他高解析度定位應用中奈米級高精度的理想選擇。
相關文件
- PXY-102-Datasheet.pdf下載
- PXY-102-Part-Drawing.pdf下載