- 開迴路行程16 μm
- 開迴路解析度0.04 nm
- 重量725 g
產品特點
- X和Y軸運動範圍達20 μm
- 高共振頻率
- 高剛性
- 最小Z軸運動
- 中央開孔設計
選擇型號
數量
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PXY 系列/雙軸壓電平台
PXY 16
產品規格表
| 規格項目 | 單位 | PXY 16 | PXY 16 CAP |
|---|---|---|---|
| 零件編號 | - | S-644-00 | S-644-06 |
| 軸向 | - | X, Y | X, Y |
| 開迴路行程 | μm | 16 | 16 |
| 閉迴路行程 | μm | - | 12 |
| 開迴路解析度 | nm | 0.04 | 0.04 |
| 閉迴路解析度 | nm | - | 1 |
| 尺寸 (L×W×H) | mm | 98×98×20 | 104×104×250 |
| 重量 | g | 725 | 900 |
*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier (closed loop: 30V300 CLE amplifier). **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.
產品說明
PXY 16 是一款高精度雙軸壓電定位平台，專為需要精密 X-Y 平面運動的應用而設計。此平台採用平行撓曲導引結構，可在 X 和 Y 軸上提供最大 16 微米的行程範圍，同時維持極低的 Z 軸串擾。
其特點包括高共振頻率、優異的剛性和中央開孔設計，使其非常適合用於光學檢測、半導體製程和顯微鏡應用等領域。此平台可選配閉迴路應變規感測器版本（PXY 16 CAP），提供更高的定位精度和長期穩定性。
相關文件
- PXY-16-Datasheet.pdf下載
- PXY-16-Part-Drawing.pdf下載