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piezosystem jena 創立於德國耶拿，專注於奈米級壓電致動與定位解決方案。憑藉 30 年以上經驗與德國精密工藝，產品廣泛應用於光學、生命科學、半導體與精密製造，並提供高精度、高可靠性的標準與客製化平台。

Piezosystem Jena 雙軸壓電平台 PXY 系列 PXY 200

產品介紹

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PXY 系列/雙軸壓電平台

PXY 200

開迴路行程200 μm
開迴路解析度0.4 nm
重量350 g

精確平行運動
最大 200 µm 運動範圍
無機械間隙
易與其他壓電系統結合
精密銷孔便於精確調整
高動態範圍

產品規格表

規格項目	單位	PXY 200	PXY 200 SG
零件編號	-	T-227-00	T-227-01
軸向	-	X, Y	X, Y
開迴路行程 (±10%)*	μm	200	200
閉迴路行程 (±0.2%)*	μm	-	160
開迴路解析度**	nm	0.4	0.4
閉迴路解析度**	nm	-	4
尺寸 (L×W×H)	mm	70 x 70 x 25	70 x 70 x 25
重量	g	350	350

*Typical value measured with a NV 40/3 amplifier (closed-loop: NV 40/3 CLE amplifier). **The resolution is only limited by the noise of the power amplifier and metrology.

產品說明

PXY 200 採用平行四邊形結構的固態鉸鏈，可在 X 和 Y 方向實現無機械間隙的平行運動。這種設計實現了遠超機械和機電定位系統解析度的高解析度。PXY 200 系列壓電定位器可輕鬆安裝於其他定位系統，並可配備應變規量測系統以克服遲滯效應。由於壓電元件非常適合解決掃描問題，因此可進行動態操作。

相關文件

PXY-200-Datasheet.pdf下載
PXY-200-Part-Drawing.pdf下載
PXY-200-SG-Part-Drawing.pdf下載