TRITOR/三軸壓電平台
TRITOR 100
- 開迴路運動範圍100 µm
- 解析度0.2 nm
- 重量165 g
產品特點
- 3D 奈米定位平台
- 緊湊型設計，可選配整合式回饋感測器
- 柔性鉸鏈設計，無機械間隙
- 運動範圍可達 100 µm
- 基於有限元素分析優化平行四邊形設計的超精確定位
- 高解析度定位
數量
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o
a
d
i
n
g
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i
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產品規格表
| 規格項目 | 單位 | TRITOR 100 | TRITOR 100 SG | TRITOR 100 CAP |
|---|---|---|---|---|
| 軸向 | - | X, Y, Z | X, Y, Z | X, Y, Z |
| 開迴路運動範圍 (±10%) | µm | 100 | 100 | 100 |
| 閉迴路運動範圍 (±0.2%) | µm | - | 80 | 80 |
| 解析度 | nm | 0.2 | 2.0 | 1.0 |
| 尺寸 (長 x 寬 x 高) | mm | 40 x 40 x 34 | 40 x 40 x 34 | 65 x 65 x 44 |
| 重量 | g | 165 | 160 | 550 |
產品說明
TRITOR 100 具有每軸 100 µm 的平行 X、Y 和 Z 運動範圍。獨特的立方體柔性導向系統設計，無摩擦，使用體驗極佳。結合高剛性和出色的運動直線性，三軸壓電定位器 TRITOR 100 是光纖對準、雷射應用和許多其他微定位任務中奈米級高精度定位的理想解決方案。
動態掃描應用是 TRITOR 100 的典型應用。在 X、Y 和 Z 方向上可同時運動，提供了使用時的高度自由度。所有壓電平台均可採用特殊材料製造，用於真空或低溫應用等特殊應用。
三維壓電元件採用可靠的壓電堆疊致動器製造。TRITOR 100 包含柔性絕緣，非常適合高動態應用。
相關文件
- TRITOR-100-CAP-Part-Drawing.pdf下載
- TRITOR-100-SG-Part-Drawing.pdf下載
- TRITOR-100-Part-Drawing.pdf下載
- TRITOR-100-Datasheet-1.pdf下載