產品說明

MIPOS 專為高精度光學系統定位而設計，精度可達亞奈米級。MIPOS 16 的高解析度和快速反應時間帶來了新的可能性，尤其適用於白光干涉儀。

MIPOS 16 採用獨特的設計，最大孔徑可達 104 mm，最小平台高度僅 42 mm，其技術規格完全符合白光干涉測量的要求。白光干涉測量已成為最有效的 3D 表面測量方法之一。壓電致動器具有近乎無限的解析度和快速反應時間，能夠顯著提高測量精度和速度。MIPOS 16 的工作電壓範圍為 20 至 130 V，可實現高達 16 µm 的聚焦範圍和小於 0.1 nm 的單步分辨率。

MIPOS 16 專為整合到計量裝置和設備中而設計。這款堅固耐用的驅動器配備了高解析度壓電式驅動系統。其內部機械預緊設計使 MIPOS 能夠在高度動態的環境中運行，同時將穩定時間縮短至微秒。