- 开环解析度1 奈米
- 开环运动800 微米
- 闭环运动650 微米
- 闭环解析度12 奈米
产品特点
- 800 µm 對焦範圍
- 緊湊設計
- 共振頻率達 100 Hz
- 易於安裝於顯微鏡
- 閉迴路步進解析度 12 nm
- 內建應變計回饋感測器
选择型号
数量
| 规格项目 | 单位 | MIPOS 800 | MIPOS 800 SG |
|---|---|---|---|
| 零件编号 | - | O-341-00D | O-341-01D |
| 轴向 | - | Z | Z |
| 开环运动(±10%)* | 微米 | 800 | 800 |
| 闭环运动(±0.2%)* | 微米 | – | 650 |
| 开环解析度** | 奈米 | 1 | 1 |
| 闭环解析度** | 奈米 | – | 12 |
| 尺寸(长 x 宽 x 高) | 毫米 | 76 x 56 x 49 | 76 x 56 x 49 |
| 重量 | 克 | 350 | 360 |
MIPOS 800 物鏡定位器在開環模式下提供高達 800 µm 的奈米定位掃描範圍,在閉環模式下提供高達 650 µm 的奈米定位掃描範圍。此定位器可與直徑最大為 40 mm 的物鏡搭配使用。
獨特的平行四邊形設計確保了高平行度運動,且不影響光軸。MIPOS 800 的精確定位重複性得益於整合的應變計測量系統。該設計包含一個整合的致動器預緊裝置,從而實現了高諧振頻率和高平行度運動。
由於 MIPOS 800 的獨特設計,可以精確實現快速掃描應用,且穩定時間短。