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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
MIPOS/显微物镜压电平台

MIPOS 800

  • 开环解析度1 奈米
  • 开环运动800 微米
  • 闭环运动650 微米
  • 闭环解析度12 奈米

产品特点

  • 800 µm 對焦範圍
  • 緊湊設計
  • 共振頻率達 100 Hz
  • 易於安裝於顯微鏡
  • 閉迴路步進解析度 12 nm
  • 內建應變計回饋感測器

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产品规格表
规格项目单位MIPOS 800MIPOS 800 SG
零件编号-O-341-00DO-341-01D
轴向-ZZ
开环运动(±10%)*微米800800
闭环运动(±0.2%)*微米650
开环解析度**奈米11
闭环解析度**奈米12
尺寸(长 x 宽 x 高)毫米76 x 56 x 4976 x 56 x 49
重量350360
产品说明

MIPOS 800 物鏡定位器在開環模式下提供高達 800 µm 的奈米定位掃描範圍,在閉環模式下提供高達 650 µm 的奈米定位掃描範圍。此定位器可與直徑最大為 40 mm 的物鏡搭配使用。

獨特的平行四邊形設計確保了高平行度運動,且不影響光軸。MIPOS 800 的精確定位重複性得益於整合的應變計測量系統。該設計包含一個整合的致動器預緊裝置,從而實現了高諧振頻率和高平行度運動。

由於 MIPOS 800 的獨特設計,可以精確實現快速掃描應用,且穩定時間短。

相关文件
  • MIPOS-800-SG-Datasheet-091324.pdf下载
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