- 开环解析度1 奈米
- 开环运动800 微米
- 闭环运动650 微米
- 闭环解析度12 奈米
产品特点
- 800 µm 對焦範圍
- 緊湊設計
- 共振頻率達 100 Hz
- 易於安裝於顯微鏡
- 閉迴路步進解析度 12 nm
- 內建應變計回饋感測器
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MIPOS/显微物镜压电平台
MIPOS 800
产品说明
MIPOS 800 物鏡定位器在開環模式下提供高達 800 µm 的奈米定位掃描範圍，在閉環模式下提供高達 650 µm 的奈米定位掃描範圍。此定位器可與直徑最大為 40 mm 的物鏡搭配使用。
獨特的平行四邊形設計確保了高平行度運動，且不影響光軸。MIPOS 800 的精確定位重複性得益於整合的應變計測量系統。該設計包含一個整合的致動器預緊裝置，從而實現了高諧振頻率和高平行度運動。
由於 MIPOS 800 的獨特設計，可以精確實現快速掃描應用，且穩定時間短。
产品规格表
| 规格项目 | 单位 | MIPOS 800 | MIPOS 800 SG |
|---|---|---|---|
| 零件编号 | - | O-341-00D | O-341-01D |
| 轴向 | - | Z | Z |
| 开环运动（±10%）* | 微米 | 800 | 800 |
| 闭环运动（±0.2%）* | 微米 | – | 650 |
| 开环解析度** | 奈米 | 1 | 1 |
| 闭环解析度** | 奈米 | – | 12 |
| 尺寸（长 x 宽 x 高） | 毫米 | 76 x 56 x 49 | 76 x 56 x 49 |
| 重量 | 克 | 350 | 360 |
相关文件
- MIPOS-800-SG-Datasheet-091324.pdf下载
常见问题
开回路与闭回路版本怎么选？
需要绝对定位精度与重现性（量测、对位）选闭回路；只需相对微动或扫描、且系统另有回授时，开回路成本更低、响应更快。
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