- 开回路解析度0.9 nm
- 开回路运动范围600 µm
- 闭回路运动范围500 µm
- 闭回路解析度12 nm
产品特点
- 600 µm 對焦範圍
- 緊湊設計
- 高共振頻率
- 易於安裝於顯微鏡
- 搭配 Flex-Adapter 靈活使用
- 內建應變計(SG)回饋感測器
选择型号
数量
| 规格项目 | 单位 | MIPOS 600 SG |
|---|---|---|
| 轴向 | - | Z |
| 开回路运动范围 (±10%) | µm | 600 |
| 闭回路运动范围 (±0.2%) | µm | 500 |
| 开回路解析度 | nm | 0.9 |
| 闭回路解析度 | nm | 12 |
| 共振频率 | Hz | 220 |
| 尺寸 (长 x 宽 x 高) | mm | 60.5 x 50 x 40.1 |
| 重量 | g | 370 |
MIPOS 600 SG 物鏡定位系統提供高達 600 µm 的開迴路奈米定位和掃描範圍,以及使用應變規感測器的 500 µm 閉迴路運動範圍。可與直徑達 40 mm 的物鏡搭配使用。
獨特的平行四邊形設計確保高度平行的運動,不會影響光軸。MIPOS 600 SG 透過整合式應變規測量系統,可確保精確的定位重複性。
整合式致動器預載設計提供高共振頻率和高度平行運動。由於 MIPOS 600 SG 的獨特特性,可以在短穩定時間內精確實現快速掃描應用。