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piezosystem jena 创立于德国耶拿,专注于奈米级压电致动与定位解决方案。凭借 30 年以上经验与德国精密工艺,产品广泛应用于光学、生命科学、半导体与精密制造,并提供高精度、高可靠性的标准与客制化平台。
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展示图档_1
MIPOS/显微物镜压电平台

MIPOS 600 SG

  • 开回路解析度0.9 nm
  • 开回路运动范围600 µm
  • 闭回路运动范围500 µm
  • 闭回路解析度12 nm

产品特点

  • 600 µm 對焦範圍
  • 緊湊設計
  • 高共振頻率
  • 易於安裝於顯微鏡
  • 搭配 Flex-Adapter 靈活使用
  • 內建應變計(SG)回饋感測器

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产品规格表
规格项目单位MIPOS 600 SG
轴向-Z
开回路运动范围 (±10%)µm600
闭回路运动范围 (±0.2%)µm500
开回路解析度nm0.9
闭回路解析度nm12
共振频率Hz220
尺寸 (长 x 宽 x 高)mm60.5 x 50 x 40.1
重量g370
产品说明

產品說明

MIPOS 600 SG 物鏡定位系統提供高達 600 µm 的開迴路奈米定位和掃描範圍,以及使用應變規感測器的 500 µm 閉迴路運動範圍。可與直徑達 40 mm 的物鏡搭配使用。

獨特的平行四邊形設計確保高度平行的運動,不會影響光軸。MIPOS 600 SG 透過整合式應變規測量系統,可確保精確的定位重複性。

整合式致動器預載設計提供高共振頻率和高度平行運動。由於 MIPOS 600 SG 的獨特特性,可以在短穩定時間內精確實現快速掃描應用。

主要特點

  • 600 µm 聚焦範圍
  • 緊湊設計
  • 高共振頻率
  • 易於安裝在顯微鏡上
  • 透過 Flex-Adapter 靈活使用
  • 整合式 SG 回饋感測器
相关文件
  • MIPOS-600-Datasheet.pdf下载
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